v3-S29. Kursbeschreibung:
Dieser Kurs untersucht die entscheidende Rolle der Messtechnik und Prozesskontrolle in der Halbleiterfertigung. Die Teilnehmer lernen, wie fortschrittliche Mess-, Prüf-, Analyse- und Steuerungstechniken die Prozessgenauigkeit, die Ertragssteigerung und die Zuverlässigkeit von Bauelementen im Nanoskalabereich gewährleisten. Zu den wichtigsten Themen gehören dimensionale und materialtechnische Messtechnik, statistische Kontrollmethoden, KI-gestützte Inspektion und aufkommende Technologien wie Quantenmesstechnik und digitale Zwillinge. Durch praxisnahe Anwendungen und Branchenkennzahlen erwerben die Lernenden die Fähigkeiten, um innerhalb zunehmend komplexer werdender Halbleiterprozessabläufe zu überwachen, zu optimieren und zu innovieren.