v3-S29. Description du Cours :
Ce cours explore le rôle critique de la métrologie et du contrôle des processus dans la fabrication de semiconducteurs. Les participants apprendront comment des techniques avancées de mesure, d'inspection, d'analyse et de contrôle garantissent la précision des processus, l'amélioration des rendements et la fiabilité des dispositifs à l'échelle nanométrique. Les sujets clés incluent la métrologie dimensionnelle et matérielle, les méthodes de contrôle statistique, l'inspection améliorée par l'IA et les technologies émergentes telles que la métrologie quantique et les jumeaux numériques. Grâce à des applications concrètes et des indicateurs de l'industrie, les apprenants acquerront les compétences nécessaires pour surveiller, optimiser et innover au sein de flux de processus de semiconducteurs de plus en plus complexes.